将原料甲醚液体用泵送至分子筛吸附塔，从分子筛吸附塔下部往上通过分子筛床层，停留时间为30分钟。吸附过程在0.5MpaG、0℃下进行。经过分子筛吸附处理，精制甲醚中含水降至0.001%。原料三氟化硼气体进入低温精馏塔，塔顶温度控制在-105℃，压力控制在O.1MpaG，经精馏处理，精制三氟化硼从塔顶出来，不含氟化氢、四氟化硅等杂质。

精制甲醚从上往下流过络合反应器列管，精制三氟化硼气体从下往上进入络合反应器列管，甲醚和三氟化硼在列管的填料上进行络合反应。络合反应控制在0.6MpaG，温度控制在-10℃。生成的络合物用泵送往交换反应精馏塔。交换反应精馏塔真空度150mmHg，塔顶温度为85℃，塔釜温度为90℃。最终，在交换精馏塔达到交换反应和精馏平衡后，从塔顶得到99%以上丰度的三氟化硼-11气体，从塔釜得到丰度95%以上的三氟化硼甲醚-10同位素产品。

三氟化硼-甲醚络合物化学交换精馏法的具体工艺是：将三氟化硼-甲醚络合物直接加入到精馏塔中，在减压的条件下加热蒸馏，最终，三氟化硼-10在塔釜中浓缩，而三氟化硼-11从塔顶分离出来。该工艺具有流程简单、操作简便的特点。但由于从市场采购的三氟化硼-甲醚络合物含水高，即使经过脱水处理，三氟化硼-甲醚络合物中含水仍高达0.01%—0.03%，由水而引发的副反应导致大量的副产物堵塞管道、换热器等，且严重腐蚀设备，使生产无法连续稳定进行。