CAS号：4270-70-6
|
英文名称：Triphenylsulfonium chloride
分子式
C18H15ClS
分子量
299
EINECS号
224-259-6
MDL
MFCD00031716
Smiles
InChIKey
三苯基氯化硫鎓盐化学百科
基本信息
| 中文名称 | 三苯基氯化硫盐 |
| 英文名称 | Triphenylsulfonium chloride |
| CAS号 | 4270-70-6 |
| 分子式 | C18H15ClS |
| 分子量 | 298.83 |
| EINECS号 | 224-259-6 |
| InChI | InChI=1S/C18H15S.ClH/c1-4-10-16(11-5-1)19(17-12-6-2-7-13-17)18-14-8-3-9-15-18;/h1-15H;1H/q+1;/p-1 |
| SMILES | [S+](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)C1C=CC=CC=1.[Cl-] |
物化性质
| 熔点 | 277 °C |
| 形态 | 粉末 |
| 颜色 | 淡黄色 |
| 水溶解性 | Soluble in water. |
安全信息
| 危险品标志 | Xi |
| 危险类别码 | 36/37/38 |
| 安全说明 | 26 |
| WGK Germany | 3 |
| 海关编码 | 2930909899 |
生产及用途
三苯基氯化硫盐作为一种新型光致产酸剂，在集成电路、半导体工业中248nm及以下深紫外光致抗蚀剂中得到广泛应用。
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