| 中文名称 | 乙基三甲氧基硅烷 |
| 英文名称 | ETHYLTRIMETHOXYSILANE |
| CAS号 | 5314-55-6 |
| 分子式 | C5H14O3Si |
| 分子量 | 150.25 |
| EINECS号 | 226-172-9 |
| 沸点 | 123-124 °C(lit.) |
| 密度 | 0.94 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 折射率 | n20/D 1.384(lit.) |
| 闪点 | 81 °F |
| 形态 | 透明液体 |
| 颜色 | 无色至淡黄色 |
| 比重 | 0.949 |
| 水溶解性 | Soluble,Decomposes in contact with water in water |
| 水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| 危险品标志 | Xi |
| 危险类别码 | 10-36 |
| 安全说明 | 16-26-36 |
| 危险品运输编号 | UN 1993 3/PG 3 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 29319090 |
| 危险等级 | 3 |
| 包装类别 | III |