| 中文名称 | 三甲基硅烷 |
| 英文名称 | TRIMETHYLSILANE |
| CAS号 | 993-07-7 |
| 分子式 | C3H10Si |
| 分子量 | 74.2 |
| EINECS号 | 213-603-0 |
| 熔点 | -135,9°C |
| 沸点 | 6,7°C |
| 密度 | 0,638 g/cm3 |
| 折射率 | 1.3800 (estimate) |
| 闪点 | <-29°C |
| LogP | 2.2 at 20℃ |
| 形态 | 液体 |
| 比重 | 0.638 |
| 水溶解性 | 1.4g/L at 20℃ |
| 水解敏感性 | 3: reacts with aqueous base |
| 危险类别码 | 12-36/37/38 |
| 安全说明 | 9-16-26-33 |
| 危险品运输编号 | 3161 |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 2931900050 |