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三甲基硅烷
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CAS号：993-07-7 | 英文名称：Trimethylsilane
分子式 C3H10Si
分子量 74
EINECS号 213-603-0
MDL MFCD00039791
Smiles [SiH](C)(C)C
InChIKey PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N
乙二醇化学百科
基本信息
中文名称 三甲基硅烷
英文名称 TRIMETHYLSILANE
CAS号 993-07-7
分子式 C3H10Si
分子量 74.2
EINECS号 213-603-0
物化性质
熔点 -135,9°C
沸点 6,7°C
密度 0,638 g/cm3
折射率 1.3800 (estimate)
闪点 <-29°C
LogP 2.2 at 20℃
形态 液体
比重 0.638
水溶解性 1.4g/L at 20℃
水解敏感性 3: reacts with aqueous base
安全信息
危险类别码 12-36/37/38
安全说明 9-16-26-33
危险品运输编号 3161
TSCA Yes
海关编码 2931900050
生产及用途
简介
三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。
化学性质

三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体，其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。

用途
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。
上下游产品
上游产品共计:6个
下游产品共计:14个
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