| 中文名称 | 乙基三氯硅烷 |
| 英文名称 | Ethyltrichlorosilane |
| CAS号 | 115-21-9 |
| 分子式 | C2H5Cl3Si |
| 分子量 | 163.51 |
| EINECS号 | 204-072-6 |
| 熔点 | −106 °C(lit.) |
| 沸点 | 99 °C(lit.) |
| 密度 | 1.238 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气压 | 36 hPa (20 °C) |
| 折射率 | n20/D 1.425(lit.) |
| 闪点 | 57 °F |
| 溶解度 | 溶于乙醚、苯 |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 无色 |
| 比重 | 1.238 |
| 爆炸极限值(explosive limit) | 2.68%(V) |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 敏感性 | moisture sensitive |
| 危险品标志 | F,T+,C |
| 危险类别码 | 11-14-22-26-34-37-35-20/22 |
| 安全说明 | 26-28-36/37/39-45 |
| 危险品运输编号 | UN 1196 3/PG 2 |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS号 | VV4200000 |
| 自燃温度 | 385 °C |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 2931 90 00 |
| 危险等级 | 3.1 |
| 包装类别 | II |
| 毒害物质数据 | 115-21-9(Hazardous Substances Data) |
| 毒性 | LD50 orally in Rabbit: 1330 mg/kg |
可由硅粉在铜催化剂存在下,与氯乙烷反应来制取。