| 中文名称 | 三(二甲氨基)氯硅烷 |
| 英文名称 | TRIS(DIMETHYLAMINO)CHLOROSILANE |
| CAS号 | 13307-05-6 |
| 分子式 | C6H18ClN3Si |
| 分子量 | 195.77 |
| EINECS号 | 236-331-4 |
| 熔点 | 2.5-3.5 °C |
| 沸点 | 78 °C/14 mmHg (lit.) |
| 密度 | 0.973 g/mL at 25 °C (lit.) |
| 折射率 | 1.4420 |
| 闪点 | 138 °F |
| 酸度系数(pKa) | 7.79±0.70(Predicted) |
| 比重 | 0.975 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 危险品标志 | C |
| 危险类别码 | 34 |
| 安全说明 | 26-28-36/37/39 |
| 危险品运输编号 | UN 2986 8/PG 2 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | Yes |