| 中文名称 | 四(二甲基氨基)硅烷 |
| 英文名称 | TETRAKIS(DIMETHYLAMINO)SILANE |
| CAS号 | 1624-01-7 |
| 分子式 | C8H24N4Si |
| 分子量 | 204.39 |
| EINECS号 | 216-611-2 |
| 熔点 | 15 °C(lit.) |
| 沸点 | 196 °C(lit.) |
| 密度 | 0.884 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 折射率 | 1.4430 |
| 闪点 | 136 °F |
| 形态 | 可溶于5wt.%异丙醇中 |
| 酸度系数(pKa) | 9.78±0.70(Predicted) |
| 比重 | 0.885 |
| 水溶解性 | Reacts with water. |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| 危险品标志 | C,F |
| 危险类别码 | 14-20/21/22-34-14/15 |
| 安全说明 | 26-36/37/39-43-45 |
| 危险品运输编号 | UN 2920 8/PG 2 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | VV5455500 |
| TSCA | Yes |
| 危险等级 | 4.3 |
| 包装类别 | II |
| 毒性 | LD50 orl-rat: 1670 mL/kg NTIS** OTS0535984 |
四(二甲基氨基)硅烷是在分子内具有硅原子与氮原子的化合物,近年来在半导体绝缘膜材料或硅晶片表面的超斥水化剂等电子信息材料领域中具有广泛应用。