| 中文名称 | 三甲基乙氧基硅烷 |
| 英文名称 | Ethoxytrimethylsilane |
| CAS号 | 1825-62-3 |
| 分子式 | C5H14OSi |
| 分子量 | 118.25 |
| EINECS号 | 217-370-6 |
| 熔点 | -83°C |
| 沸点 | 75-76 °C(lit.) |
| 密度 | 0.757 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气压 | 533 hPa (56 °C) |
| 折射率 | n20/D 1.374(lit.) |
| 闪点 | -18 °C |
| LogP | -0.31-3.7 at 20-25℃ |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 透明无色 |
| 比重 | 0.757 |
| 爆炸极限值(explosive limit) | 1.5-16.5%(V) |
| 水溶解性 | reacts |
| 水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| BRN | 1731950 |
| 危险品标志 | F,Xn,Xi |
| 危险类别码 | 11-22-36/37/38 |
| 安全说明 | 16-26-9-37/39-33 |
| 危险品运输编号 | UN 1993 3/PG 2 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | VV4110000 |
| 自燃温度 | 280 °C |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 2931 90 00 |
| 危险等级 | 3 |
| 包装类别 | II |
三甲基乙氧基硅烷(ETMS) 是一种用作封端剂的烷氧基硅烷,可通过与表面羟基偶联来调节各种基材的疏水性。