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CAS号:7783-63-3
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英文名称:titanium tetrafluoride
分子式
分子量
EINECS号
MDL
Smiles
InChIKey
乙二醇化学百科
基本信息
物化性质
安全信息
生产及用途
Titanium tetrafluoride是一种有效但不稳定的防龋剂。 化学性质 四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。用途 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。生产方法 以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛,将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中,滴加氟化氢使其反应,将反应物静置数小时,再徐徐加热,加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢,再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华,经冷却即得到四氟化钛粉末产品,用密封的铜制容器贮存。其反应如下:
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