| 中文名称 | N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯 |
| 英文名称 | N-Hydroxynaphthalimide triflate |
| CAS号 | 85342-62-7 |
| 分子式 | C13H6F3NO5S |
| 分子量 | 345.25 |
| EINECS号 | 233-299-3 |
| 熔点 | 212.1-214.2 °C |
| 沸点 | 456.2±55.0 °C(Predicted) |
| 密度 | 1.76±0.1 g/cm3(Predicted) |
| 溶解度 | 在PGMEA中的溶解度为1% |
| 形态 | 粉末晶体 |
| 颜色 | 白色至浅黄色至浅橙色 |
| 安全说明 | 22-24/25 |
| WGK Germany | 3 |
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一种光酸发生器(PAG),在紫外线照射下形成酸,可用于生成图案结构。它还可以通过形成酸键来调节聚合物的溶解度。
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯可以用来形成有图案的纳米颗粒,在半导体器件的体积制造中找到潜在的应用。它还可用于沸石的光响应性孔重开,有利于气体渗透过程的调节。紫外辐照三甲基硅基超薄纤维素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。
取10.0 g (0.051 mol)萘酸酐、3.9 g (0.056 mol)盐酸羟胺和80 ml吡啶的混合物,在100℃下搅拌10小时。冷却至室温后,将反应溶液倒入1N盐酸中,过滤回收沉淀。所得沉淀物5.0 g溶解于吡啶(50 ml)中,在0℃搅拌时,将8.3 g (0.026 mol)合成的二(五氟乙基)膦酰氯滴入其中。25℃搅拌2小时后,用二氯甲烷-水萃取反应溶液,减压除去有机层,除去溶剂,得到橙色固体。用乙腈重结晶得到白色固体5.3 g, 0.01 mol)。在三氟甲烷磺酸中加入双(五氟乙基)膦酰氯,用酸酐(7.3 g, 0.028 mol)代替酸酐,得到粗产物N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(7.0 g, 0.020 mmol)。