N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一种光酸发生器(PAG)，在紫外线照射下形成酸，可用于生成图案结构。它还可以通过形成酸键来调节聚合物的溶解度。

N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯可以用来形成有图案的纳米颗粒，在半导体器件的体积制造中找到潜在的应用。它还可用于沸石的光响应性孔重开，有利于气体渗透过程的调节。紫外辐照三甲基硅基超薄纤维素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。

取10.0 g (0.051 mol)萘酸酐、3.9 g (0.056 mol)盐酸羟胺和80 ml吡啶的混合物，在100℃下搅拌10小时。冷却至室温后，将反应溶液倒入1N盐酸中，过滤回收沉淀。所得沉淀物5.0 g溶解于吡啶(50 ml)中，在0℃搅拌时，将8.3 g (0.026 mol)合成的二(五氟乙基)膦酰氯滴入其中。25℃搅拌2小时后，用二氯甲烷-水萃取反应溶液，减压除去有机层，除去溶剂，得到橙色固体。用乙腈重结晶得到白色固体5.3 g, 0.01 mol)。在三氟甲烷磺酸中加入双(五氟乙基)膦酰氯，用酸酐(7.3 g, 0.028 mol)代替酸酐，得到粗产物N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(7.0 g, 0.020 mmol)。