| 中文名称 | 三(三甲基硅)胺 |
| 英文名称 | NONAMETHYLTRISILAZANE |
| CAS号 | 1586-73-8 |
| 分子式 | C9H27NSi3 |
| 分子量 | 233.57 |
| EINECS号 | 216-445-0 |
| 熔点 | 67-69 °C (lit.) |
| 沸点 | 72 °C/10 mmHg (lit.) |
| 密度 | 0.863 |
| 折射率 | 1.4550 |
| 闪点 | 67°C |
| 形态 | 固体 |
| 酸度系数(pKa) | pK1:4.70(+1) (25°C) |
| 颜色 | 白色至无色蜡状 |
| 比重 | 0.8635 |
| 水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| BRN | 1851880 |
| 危险品标志 | C |
| 危险类别码 | 34 |
| 安全说明 | 26-36/37/39-45 |
| 危险品运输编号 | UN 3259 8/PG 3 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 29319090 |
| 危险等级 | 8 |
| 包装类别 | III |