| 中文名称 | 三乙氧基氯硅烷 |
| 英文名称 | TRIETHOXYCHLOROSILANE |
| CAS号 | 4667-99-6 |
| 分子式 | C6H15ClO3Si |
| 分子量 | 198.72 |
| EINECS号 | 225-112-9 |
| 熔点 | -51°C |
| 沸点 | 156-157 °C(lit.) |
| 密度 | 1.012 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 折射率 | n20/D 1.3900(lit.) |
| 闪点 | 117 °F |
| 溶解度 | 可溶于苯、氯仿 |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 透明无色 |
| 比重 | 1.0122 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 稳定性 | 湿气敏感 |
| 危险品标志 | C |
| 危险类别码 | 10-34-10/34 |
| 安全说明 | 16-26-27-36/37/39 |
| 危险品运输编号 | UN 2986 8/PG 2 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 29319090 |
| 危险等级 | 8/3 |
| 包装类别 | II |