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542-91-6
二乙基硅烷
产品纠错
CAS号:542-91-6 | 英文名称:DIETHYLSILANE
分子式 C4H12Si
分子量 88
EINECS号 208-834-9
MDL MFCD00039877
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二乙基硅烷化学百科
基本信息
中文名称 二乙基硅烷
英文名称 DIETHYLSILANE
CAS号 542-91-6
分子式 C4H12Si
分子量 88.22
EINECS号 208-834-9
物化性质
熔点 -132°C
沸点 56 °C (lit.)
密度 0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
折射率 n20/D 1.391(lit.)
闪点 −20 °F
溶解度 与四氢呋喃、乙醚、1,4-二恶烷和苯混溶。
形态 液体
比重 0.683
水解敏感性 3: reacts with aqueous base
敏感性 Air Sensitive
默克索引编号 14,3128
BRN 1730902
安全信息
危险品标志 F
危险类别码 11
安全说明 16-23-24/25
危险品运输编号 UN 1993 3/PG 2
WGK Germany 1
TSCA Yes
危险等级 3
包装类别 II
生产及用途
二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源。一种形成作为电子器件中高k电介质的金属硅酸盐的方法,包括步骤:提供二乙基硅烷至反应区;同时提供氧源至该反应区;同时提供金属前驱体到该反应区;通过化学气相沉积使该二乙基硅烷、氧源和金属前驱体发生反应,以在包括该电子器件的衬底上形成金属硅酸盐。该金属优选为铪、锆或其混合物。该金属硅酸盐膜的介电常数可以基于膜中的金属、硅、和氧的相对原子浓度进行调节。二乙基硅烷是一种硅烷试剂,有文献报道其可用于制备沉积金属硅酸盐膜的硅源。
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