| 中文名称 | 三乙基氯硅烷 |
| 英文名称 | Chlorotriethylsilane |
| CAS号 | 994-30-9 |
| 分子式 | C6H15ClSi |
| 分子量 | 150.72 |
| EINECS号 | 213-615-6 |
| 熔点 | -50°C |
| 沸点 | 142-144 °C (lit.) |
| 密度 | 0.898 g/mL at 25 °C (lit.) |
| 蒸气压 | 9.6-60hPa at 20-50℃ |
| 折射率 | n20/D 1.43(lit.) |
| 闪点 | 85 °F |
| 溶解度 | 溶于非质子有机溶剂。 |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 透明无色至浅黄色 |
| 比重 | 0.897 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| BRN | 1732860 |
| 稳定性 | 湿气敏感 |
| 危险品标志 | C,F |
| 危险类别码 | 11-14-19-35-34-10-22-36/37-40-37 |
| 安全说明 | 26-36/37/39-43-45-25-16-33 |
| 危险品运输编号 | UN 2986 8/PG 2 |
| WGK Germany | 1 |
| 自燃温度 | 280 °C |
| TSCA | Yes |
| 海关编码 | 29310095 |
| 危险等级 | 3 |
| 包装类别 | II |