| 中文名称 | 乙氧基三乙基硅烷 |
| 英文名称 | ETHOXYTRIETHYLSILANE |
| CAS号 | 597-67-1 |
| 分子式 | C8H20OSi |
| 分子量 | 160.33 |
| EINECS号 | 680-164-3 |
| 沸点 | 154 °C |
| 密度 | 0,816 g/cm3 |
| 折射率 | 1.4140 |
| 闪点 | 154-155°C |
| 形态 | 透明液体 |
| 颜色 | 无色至几乎无色 |
| 比重 | 0.816 |
| 水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| 敏感性 | Moisture Sensitive |
| BRN | 1735027 |
| 危险类别码 | 36/37/38 |
| 安全说明 | 26-36 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| 海关编码 | 2931.90.9010 |
| 危险等级 | 3 |
| 包装类别 | III |